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耐酸碱化学泵浦产业应用:半导体产业


当今我们能够每天享受着许多科技带来的便利生活,大多都要拜半导体所赐。半导体元件可说是现代科技应用的大脑,除了大家熟悉的手机、电脑等,近年来迅速成长的AI人工智慧、物联网、5G等,也都是需要由半导体材料作为核心,制作积体电路而成。


半导体是什么?

半导体是一种具有特殊物理性质的材料,常温下导电能力介于导体和绝缘体之间,可藉由外部施加电压来改变其导电能力。半导体在不施加外部电压的情况下,是尚未导电的;若对材料施加电压,原本不导电的材料将变成导电材料,使电流得以通过。


高纯度无污染要求

在我们的生活中如此举足轻重、密不可分的半导体产业,制程中包含许多精密的积体电路和微机电,且为了避免产品的电性受到影响,其制程环境对洁净度(Cleanliness)具有严苛的要求。因此输送流体的过程需特别注意,确保生产制造环境维持在低污染水平,才不会影响到产品的良率。如果说半导体是先进科技发展的核心,那么泵浦便可称为半导体制造的核心了。



半导体制程

半导体晶圆制程中,有些步骤上须仰赖可靠的化工泵浦,才能达到高品质的生产要求,以下简单介绍晶圆与晶片的制造过程。

晶圆制程:

       切片
晶棒 → 晶圆 → 研磨 → 洗净 → 浸蚀 → 抛光 → 洗净 → 矽晶圆。

晶片制程:

矽晶圆 → 薄膜沉积 → 涂上感光剂 → 微影成像 → 显影 → 蚀刻 → 去除光阻



无轴封磁力泵浦在半导体制程中的应用

晶圆清洗:

晶圆之所以要清洗,是为了将表面的尘粒、化学污染物、金属残留物等杂质洗掉,才能确保半导体元件的电性参数及特性,达成可靠的品质。
而清洁过程中使用的盐酸、硫酸和过氧化氢等化学品,除了必须保持高纯度,且这些酸碱流体具腐蚀性,在输送时需注意防止泄漏,避免造成危险。

显影、蚀刻:

晶片的湿式制程中,如上述步骤所示,包含显影、蚀刻等,须使用显影剂及化学溶液,这些化学品的洁净度须受严格管控,亦须注意输送时的腐蚀与泄漏问题。

无尘室

由于现今的晶圆已拥有奈米等级的制造技术,若有尘粒或污染物落在晶圆上,都有可能毁损到整个晶圆线路,因此为提升产品品质与良率,需要严格阻绝微尘粒子进入制程环境。晶圆厂的无尘室设备中,无污染处理和可靠性是整体的关键,针对洁净度的要求,某些类型的无尘室应用适合采用无轴封磁力泵浦,加上泵浦的材料最好为PTFE、ETFE,可防止化学品及超纯水从泵浦中泄漏出来,进而影响到制程。


废水回收、排放系统:

在半导体蓬勃发展的同时,元件制造过程中,为了能兼顾操作人员的安全及实现环境永续,化学品的排放与回收利用也成为受法律规范的一环。
一般半导体制程中使用的化学品到最后变成废液,像是有机、无机、重金属及研磨废水等,都需经过混合与分离处理后,才能被回收再利用。建置一个完善的回收排放系统时,内部使用的泵浦也必须严格把关,如此一来不仅可有效防止危险药液泄漏造成的污染问题,亦可降低运作成本,达到最理想的废液回收及排放处理。

PTCXPUMP无轴封磁力泵浦可安心应用于:

  1. 化学品供应设备
  2. 内部制程供应系统
  3. 废液处理设备

PTCXPUMP无轴封磁力泵于半导体产业应用中,提供您解决输送流体的最佳方案。无轴封的设计,与传统机械轴封泵浦不同,能有效避免泄漏,加上本体及多项部件材质使用GFR-PP及CFR-ETFE,具优异的耐腐蚀能力,适合输送酸碱药液等高腐蚀性或易燃、易爆的高危险性流体,在半导体产业中,可应用于各类设备系统中。


PTCXPUMP无轴封磁力泵系列中,PTC-100 ~ PTC-251为小型应用,PTC-400 ~ PTC-675为中大型应用,拥有多样型号符合您各项操作需求。 PTCXPUMP致力于成为您安心使用泵浦的优先选择。
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