半導体はハイエンドプロセスで、高純度のシリコンは集積回路、マイクロプロセッサとメモリチップ等のマイクロエレクトロニクス部品に最も重要な基礎マテリアルです。ポンプは生産プロセスの中に表面処理、現象、エッチングと洗浄などの工程に必要な腐食性液体の輸送に応用されています。
