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내산 ‧ 내알칼리성 화학 펌프의 산업 응용분야: 반도체 산업


고순도 및 무공해 요구 사항,  사용 안전 및 고품질 생산

반도체는 첨단 제조 공정이 있는데 고순도 실리콘은 제조 공정에서 집적회로, 마이크로프로세서, 메모리 칩 등 미세전자 소자에서 가장 중요한 기본 재료이며 펌프는 제조 공정에 필요한 부식성 유체를 이송하는 데 사용되며 표면 처리, 현상, 에칭 및 세척에 사용됩니다.


반도체 프로세스

  1. 웨이퍼 표면 세정 및 에칭
  2. 현상, 분무 식각, 침지 식각 등이 포함되는 습식 공정
  3. 중앙 화학 약품 공급 장치
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